适用于氧化亚硅等可气相沉积材料大批量生产;温差控制精度高,高温真空炉;具备高真空升华,反应,脱脂,脱水,气相沉积材料自动研磨刮料,炉内收集等特殊工艺能力。
全程全封闭全自动化作业,避免粉尘飞扬,生产现场环境整洁干净。
温度控制1500度以内,升温速率快。
设备特点:
一次装料量大, 生产效率高。全程全封闭全自动化作业,避免粉尘飞扬,生产现场环境整洁干净。
温度控制1500度以内,升温速率快。
可以在真空度下保持稳定运行工作。
设备参数: